Sie können viel Zeit und Kosten sparen, wenn Sie Fehlerschlupf vermeiden.

Bei der AOI-Fehleranalyse wird nach der Ursache des Fehlerschlupfs gesucht. Nur so ist eine Erarbeitung und Umsetzung von Lösungsempfehlungen möglich, um Fehlerschlupf zu vermeiden.

Es wird geprüft, ob der Fehler beim AOI-Test übersehen wurde, oder in einem späteren Prozess entstanden ist, wie z.B. beschädigter Schweißdraht, Partikel, mechanische Beschädigung des Leiterbildes.

Für die AOI-Fehleranalyse werden folgende Daten benötigt:

• die AOI-Fehlerdaten
• die E-Test Fehlerdaten
• die AOI-Durchsatzzahlen pro Monat, um den Fehlerschlupf prozentual zu berechnen

In diesem Beispiel (siehe Bild oben) wurden in einem Monat 316.780 Seiten (Innenlagen) AOI geprüft. Davon waren 22 Panels beim E-Test fehlerhaft (entspricht 0,0069%).

Die E-Test Auswertung (Fehlerart, Bilder und CAM-Koordinaten der Fehler) gibt Auskunft darüber, ob der Fehler vor oder nach AOI entstanden ist. Ist der Fehler in einem Prozess vor dem AOI-Test entstanden (wie z.B. Kurzschlüsse, Unterbrechungen, Kupfer-Rückstände etc.), wird überprüft, ob der Fehler in den AOI-Fehlerdaten vorhanden ist (siehe rechts "Fehlerverteilung im Panel")

Wurde ein Fehler nachweislich beim AOI-Test gefunden, liegt die Ursache nicht beim AOI-Test, sondern beim Verifizieren. In dem Beispiel sind alle 22 Fehler in den Fehlerdaten gespeichert, der Fehlerschlupf kann somit nur beim Verifizieren entstanden sein.

Unzulässige Änderungen der Prüfparameter, die einen Fehlerschlupf verursachen können, lassen sich zurückverfolgen, selbst wenn das AOI-Programm nicht gespeichert wurde.

Mit den AOI-Systemen von KLA Orbotech läßt sich eine Null-Fehlerschlupf-Strategie erreichen, unter anderem durch:

• Produktspezifische Optimierung der AOI-Programme
• Kundenorientierte AOI-Schulung